半导体行业用去离子水设备

半导体行业去离子水设备的标准要求

1. 水质标准

• 电阻率：大于18.2 MΩ·cm（25℃）
• 总有机碳（TOC）：小于1ppb
• 溶解氧（DO）：小于5ppb
• 颗粒数：0.05微米颗粒小于200个/升
• 离子含量：大部分离子浓度小于20到50ppt

2. 技术规范

• 预处理：通常包括石英砂过滤、活性炭过滤和保安过滤，以去除水中的悬浮物和杂质。
• 反渗透（RO）：通过反渗透膜去除水中的溶解盐、有机物和微生物。
• 电去离子（EDI）：利用电场作用去除水中的离子，进一步提高水质。
• 终端处理：包括紫外线消毒和0.22微米过滤，确保水质的生物安全性。

3. 国际标准

• ASTM D5127-13(2018)：美国材料与试验协会发布的标准，为电子和半导体行业提供了超纯水的标准指南。
• SEMI E49.3：规定了半导体生产设备中超高纯度去离子水和化学分配系统的指南。

推荐品牌

1. 仟净品牌

• 特点：仟净的去离子水设备采用先进的EDI技术和多级过滤工艺，能够满足半导体行业对水质的严格要求。其产品通过CE认证，拥有多项专利和权威资质。
• 优势：设备能够稳定输出18 MΩ·cm的超纯水，广泛应用于半导体制造。

2. 重庆净业环保

• 特点：重庆净业环保生产的去离子水设备采用全自动生产线，具备超大规模生产厂房，能够确保设备的高质量和高稳定性。
• 优势：设备符合半导体行业的水质标准，能够有效去除水中的离子、颗粒和有机物。

3. 成都莫瑞水处理设备厂

• 特点：成都莫瑞水处理设备厂提供的去离子水设备适用于半导体行业，能够满足超纯水的生产需求。
• 优势：设备采用先进的反渗透和EDI技术，确保水质的高纯度。

4. 昆山千澄环保

• 特点：昆山千澄环保生产的去离子水设备在半导体行业也有广泛应用，能够提供高质量的超纯水。
• 优势：设备符合国际和国内相关标准，具备良好的市场口碑。

总结

• 仟净品牌
• 重庆净业环保
• 成都莫瑞水处理设备厂
• 昆山千澄环保